Термодиффузионная печь: Особенности процесса термодиффузии: достоинства, применение
Содержание
Крепеж и метизы: Термодиффузионное цинкование
Термодиффузионное цинкование – процесс нанесения прочного защитного слоя цинкового покрытия на поверхность литых, кованых, прессованных и механически обработанных металлических изделий методом термодиффузии с применением специальной порошковой смеси.
Технология термодиффузионного цинкования. Видео
В этом видео хорошо показан весь технологический процесс термодиффузионного цинкования.
- укладка деталей и дозирование цинкнасыщенных смесей в технологический контейнер;
- закрытие крышек технологического контейнера;
- перемещение технологического контейнера в печь;
- формирование интерметаллического слоя на поверхности обрабатываемых деталей;
- открытие крышек технологического контейнера;
- транспортировка деталей на двухстадийную пассивацию.

Операция покрытия крепежных изделий и метизов при термодиффузионном цинковании выполняется в разогретом до определенной температуры закрытом контейнере, содержащем смесь цинкового порошка и инертного разбавителя, при его постоянном вращении с заданной скоростью.
Рабочие температуры производственного процесса зависят от конструкции и химического состава подвергаемых покрытию цинком метизов и могут находиться в пределах от 290 до 470 градусов по Цельсию. Высокую температуру в процессе цинкования можно понизить за счет применения неглубокого вакуума.
Время вращения равномерно нагретого контейнера зависит от типа используемого в процессе термодиффузионного цинкования оборудования, состава смеси и требований к толщине слоя. Максимальная экономичность в работе по этой технологии достигается при покрытии цинком изделий небольших размеров.
Покрытию по методу термодиффузионного цинкования подвергают металлические изделия и детали, изготовленные из углеродистых и низколегированных марок стали, включая метизы повышенной прочности, а также различные изделия, изготовленные из меди и чугуна.
| Крепеж и метизы с покрытием по технологии термодиффузионного цинкования |
Операциям по нанесению покрытия цинком лучше всего подвергать изделия, материал которых не меняет своих свойств в условиях проведения технологического процесса. Слой цинкового термодиффузионного покрытия обладает анодными свойствами по отношению к основному металлу изделия и обеспечивает высокую степень электрохимической защиты от воздействия коррозии и механической защиты при деформациях, сколах или ударах.
Равномерное, гладкое или слегка шероховатое сплошное покрытие имеет серо-матовый цветовой оттенок.
Прочность сцепления нанесенного при термодиффузионном цинковании слоя с поверхностным слоем основного металла изделия обеспечивается взаимной диффузией цинка и металла. Глубина проникновения цинка в металл приблизительно равна одной трети толщины самого защитного слоя.
Покрытие с высокой точностью повторяет сложные контуры узлов и деталей, в том числе и крепежных изделий с различными видами профилей резьбы. При термодиффузионном цинковании, в отличие от гальваники, не происходит образования подверженных водородному охрупчиванию участков в структуре основного металла.
Требования к материалам и поверхностям
| Оборудование для очистки метизов перед цинкованием |
В процессе термодиффузионного цинкования все поверхности и полости подвергаемых покрытию изделий должны быть доступны для контакта с диффузионной смесью. На метизах не должно быть закрытых полых участков и карманов.
Если изделия имеют сложную форму поверхности или содержат полости, зазоры, узкие или глухие отверстия, то их подвергают пробным операциям цинкования. Болты, гайки, шайбы и другие виды крепежных изделий, подлежащих цинкованию по методу термодиффузии, должны иметь точно соответствующие требованиям действующих стандартов характеристики.
Особое внимание при этом уделяется допускам на резьбу деталей. При нанесении слоя термодиффузионного цинкового покрытия увеличенной толщины для внутренней и наружной резьбы должны быть обеспечены необходимые размеры и зазоры.
На поверхности крепежных деталей и метизов не допускается наличие заусенцев, окалины, трещин и расслоений. Кованые и литые детали не должны содержать таких дефектов, как усадочные и газовые раковины, флюсовые и шлаковые включения.
Поверхность горячекатаных метизов подлежит предварительной очистке от травильного шлама, окалины, загрязнений и продуктов воздействия коррозии.
Поверхность болтов, гаек и других метизов, подвергаемых механической обработке, должна быть полностью очищена от следов эмульсии и смазки. На ней не допускается наличие заусенцев, металлической стружки, продуктов коррозии, пыли, инородных частиц.
Для получения высококачественного защитного слоя термодиффузионного цинкового покрытия острые грани и углы у таких изделий следует скруглить с радиусом от 0,3 мм и более.
Поверхность подлежащих термодиффузионному цинкованию изделий должна быть обезжирена (химическим, термическим способом), а затем тщательно очищена применением струйно-абразивных методов обработки или травлением.
Полностью подготовленные к операции покрытия изделия хранят в условиях, обеспечивающих отсутствие появления на них конденсата, в течение не более двадцати четырех часов.
Классификация покрытий
Термодиффузионное цинкование поверхности изделий имеет соответствующее ему обозначение. Способ нанесения такого покрытия обозначают двумя заглавными буквами – «ТД».
Покрытия классифицируются по толщине защитного слоя. Классы покрытий находятся в диапазонах значений от 5 (для слоя толщиной 5 мкм) до 110 (для слоя 107 мкм). В зависимости от наличия или отсутствия дополнительной обработки готовых изделий по типу покрытия их классифицируют на четыре группы: без обработки; после выполнения фосфатирования; после фосфатирования и дополнительной пропитки маслом; после фосфатирования и дополнительной пропитки воском.
Толщина покрытия цинком
Толщина слоя покрытия, нанесенного по технологии термодиффузионного цинкования, зависит от условий эксплуатации готовых изделий. Для конкретных типов метизов и крепежа они определены в действующих нормативных документах (технических условиях, стандартах).
Толщина слоя защитного покрытия для крепежных деталей и металлических изделий небольших размеров находится в пределах от 3 до 30 микрометров. Нанесение слоя покрытия большей толщины допускается по соглашению между заказчиком и предприятием, оказывающим услуги термодиффузионного цинкования.
Современные технологии:
- Гидрографика
- Горячее цинкование
- Гальваническое цинкование
Термодиффузионное цинкование | ТЕРМИТ СПб
Термодиффузионное цинкование представляет собой наиболее современный и эффективный метод, используемый для обеспечения защиты металлических изделий от неблагоприятных внешних воздействий и коррозии.
Таким образом, метиз защищён одновременно как с механической, так и с электрохимической точки зрения.
Наибольшее распространение такой способ цинкования получил в промышленной сфере, что обусловлено необходимостью использовать специальное оборудование с высоким показателем рабочей температуры, а также активные смеси.
Специфика проведения термодиффузионного цинкования
Такой метод обработки металла считается достаточно простым, однако предполагает прохождение ряда этапов, среди которых отметим следующие:
- Подготовка. Перед началом работ металлическое изделие взвешивают, что необходимо для определения точного количества смеси, которая используется в процессе цинкования. Также мастера зачищают поверхность заготовки, удаляют следы жира дигрейзером, избавляются от нагара, коррозии путём применения дробомётной установки, пескоструйки или специального ультразвукового аппарата.
- Непосредственно обработка. После окончания подготовительных операций изделие помещается в печь, которая управляется с помощью пульта.
Это позволяет быстро переключать режимы работы, выбирать оптимальный температурный режим в зависимости от марки стали заготовки, особенностей формы и размера метиза. В некоторых случаях температура может достигать 400 градусов Цельсия. - Пассивация. Представляет собой вид обработки, за счёт которой поверхность становится надёжно защищенной от воздействия атмосферного воздуха.
- Галтовка. Выполняется с целью удаления с детали различных мелких дефектов, в том числе заусениц. После того, как чистовая обработка завершена, изделие необходимо тщательно высушить.
Обратите внимание, проведением термодиффузионного цинкования должны заниматься только опытные специалисты. Они смогут выбрать необходимый объём смеси для работы с конкретной деталью из металла, определить, какой режим температуры выбрать, чтобы провести операцию правильно и уложиться в стандарты предприятия, сколько времени держать заготовку в печи. Как правило, цинкование продолжается на протяжении двух часов.
Результатом становится нанесение тонкого слоя цинка, толщина которого в основном составляет около 50 микрон.
Основные преимущества диффузионного цинкования
Такой метод приобретает всё большую популярность, поскольку обладает целым рядом достоинств.
Среди основных из них отметим следующие:
Благодаря всем перечисленным плюсам метод постепенно вытесняет горячее цинкование. Это также обусловливает повышение спроса на услуги специалистов и профессиональное оборудование.
Сделать заказ
Оставьте заявку и мы просчитаем стоимость вашего заказа
Warning: DOMDocument::loadHTML() [domdocument.loadhtml]: Empty string supplied as input in /pub/home/termitsp/htdocs/wp-content/themes/termit/right-side.php on line 11
Диффузионная печь | Горизонтальные трубчатые печи
Компания Bruce Technologies стала частью BTU International. Bruce Technologies является подразделением BTU International в составе Amtech Group, компании расположены в Биллерике, Массачусетс.
Bruce Technologies специализируется на полупроводниковых диффузионных печах, горизонтальных трубчатых печах для полупроводниковых применений.
OEM диффузионной печи Брюса (BDF)
Более 1000 печей продано по всему миру
Более 30 лет опыта
Высокая надежность
Низкая стоимость владения
Поставив почти 6000 труб горизонтальной печи по всему миру, компания Bruce Technologies является признанным лидером в производстве горизонтальных печей с цифровым управлением. Горизонтальные печи Bruce BDF-Series предлагают клиентам проверенную надежность, современные термические технологии, точную загрузку, превосходную производительность, сниженную стоимость владения (COO) и поддержку всемирной организации.
Компания Bruce Technologies, считающаяся самой надежной в отрасли горизонтальной трубчатой печью, предлагает модели горизонтальных печей для пластин диаметром 100–300 мм.
Для дальнейшего расширения возможностей печей Bruce Technologies предлагает ряд системных опций, включая полуавтоматические и полностью автоматизированные системы загрузки, обеспечивающие общую гибкость системы.
Компания Bruce предлагает ряд модификаций горизонтальных трубчатых печей, специально разработанных для обеспечения максимальной производительности и минимизации стоимости владения. Благодаря более чем 30-летнему опыту работы с OEM-производителями компания Bruce остается вашим лучшим выбором для всех типов модернизации оборудования диффузионных печей. Мы стремимся поддерживать нашу существующую базу установки оборудования и клиентов новыми и отремонтированными горизонтальными диффузионными печами. Мы также поставляем (1) покупателям, торговым посредникам и ремонтным компаниям, которые имеют дело с бывшими в употреблении диффузионными печами Брюса, и (2) любым OEM-производителям горизонтальных печей наши продукты Atmoscan и Automation. В приведенном ниже списке представлены образцы доступных модификаций.
Для получения дополнительных сведений обратитесь к представителю Bruce Technologies.
Новые диффузионные печи BDF
Бывшие в употреблении и отремонтированные диффузионные печи BDF
Полный ремонт печи
Увеличенный размер пластины
Преобразование процессов
Улучшения терморегуляции
Модернизация лодочного загрузчика и загрузки вафель
Преобразование системы управления
Газораспределительные модификации
Решения для автоматизации печей
Сменные нагревательные элементы
Работая в отрасли более сорока лет, Брюс обладает опытом, необходимым для удовлетворения ваших текущих потребностей и продвижения передовых технологий. Благодаря нашему производственному центру в Северной Америке и опытным специалистам, расположенным по всему миру, наша команда готова помочь вам с вашим оборудованием, переоборудованием и запросами Apex.
Чтобы узнать больше о диффузионных печах Bruce Technologies, посетите веб-сайт Bruce Technologies или напишите нам по адресу [email protected].
Термическая обработка
Свяжитесь с нами
RCH Associates специализируется на новых системах LPCVD/диффузии, а также на замене газовых систем OEM (Thermco, Bruce, Tempress, ACS и т. д.), которые полностью модернизируются в существующие или модернизированные шкафы источников. Ассортимент продуктов и возможностей RCH простирается от базовых настольных печей или систем исследовательского класса до высокопроизводительных горизонтальных стеков с полным набором возможностей.
Диффузионные печи
Системы обработки в печах
Системы обработки в печах для диффузии, окисления и LPCVD для полупроводников и солнечных батарей.
Система управления ASTRA
Флагманский продукт RCH Associates, обеспечивающий полное программирование, эксплуатацию и управление данными диффузионных и LPCVD систем обработки печей.
Обеспечивает полную компьютерную мощность на уровне трубы с графическим доступом к программам с сенсорным экраном.
Газовые системы и доставка жидких источников
Системы
Газовые системы и системы доставки жидких источников для диффузии и обработки LPCVD.
Изготовление и сборка на заказ для специализированного применения.
Загрузочные станции и загрузочные системы
Загрузочные станции для чистых помещений.
Лопастные и двухстержневые консольные погрузочные системы, толкатели и автоподъемники.
Шкафы источника газа и источник/вакуум
Насосные шкафы
Полностью оборудованные шкафы источника газа, сконфигурированные для атмосферных процессов или процессов LPCVD.
Автономные или штабелированные насосные шкафы с вакуумным насосом и системами управления.
VAF — Система вакуумной печи для отжига
Специализированная система вакуумной печи для термической обработки тонких пленок пластин и подложек, чувствительных к окислению.
Применяется для металлизации отжига/сплава и отжига антиотражающих покрытий солнечных элементов и других материалов.
Модернизация и компоненты
Атмосферные системы и системы обработки LPCVD, модернизируемые для большинства существующих и новых систем печей. Узлы, элементы и газовые системы «Fast Flange». Компоненты из кварца и карбида кремния. Замена и запасные части.
Корпорация DS Fibertech является признанным лидером в области прикладных тепловых технологий с более чем 50-летним опытом работы и глобальным OEM-поставщиком нестандартного оборудования и компонентов. Мы предлагаем следующие продукты и услуги;
Электропечи, работающие на воздухе или в инертном газе до 3000 F (1650°C)
- Нагревательные камеры для:
- Печи для обработки вафель
- Муфельные печи
- Промышленная обработка
- Керамические волокнистые компоненты вакуумного формования, включая:
- Нагревательные элементы
- Индивидуальные формирователи
- Высокотемпературные прокладки и уплотнения для дверных проемов, подушек и т.
д. - Литейные услуги: мы предлагаем полную линейку продуктов для обогрева и изоляции
Элементы печей и изоляционные изделия
Электропечи, работающие на воздухе или в инертном газе до 3000 F.
Нагревательные камеры для:
Печи для обработки пластин
Солнечные печи
Муфельные печи
Индивидуальные лаборатории и промышленная обработка
Испытания твердооксидных топливных элементов (ТОТЭ)
Полупроводниковый диффузионный нагревательный элемент
Ремонт
Для элементов OEM, включая; Tokyo Electron (TEL), Hitachi Kokusai, Axcelis, Silicon Valley Group (SVG) и другие модели OEM.
Каждый восстановленный элемент диффузионного нагревателя тщательно реконструируется, чтобы обеспечить точное воспроизведение исходного диффузионного нагревателя. Элемент 9Компоненты 0110 такие же, как и используемые OEM. Восстановленные элементы будут иметь размерные, электрические и рабочие характеристики оригинального OEM.![]()
Керамические волокнистые компоненты вакуумной формовки, включая:
Нагревательные элементы и нестандартные формы
Высокотемпературные прокладки и уплотнители для дверных проемов, подушек и т. д. DS Fibertech предлагает элементы горелки как с высоким, так и с низким расходом с улучшенной конструкцией, обеспечивающей больший проход энергии излучения. Они предлагают обширную линейку сменных горелок для большинства основных брендов.
Включая SVG Thermco, TEL и Novus
Компания Fortrend, основанная в 1979 году в Силиконовой долине, США, является производителем инновационного оригинального оборудования для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. На протяжении более тридцати пяти лет продукты Fortrend являются важнейшими средствами автоматизации для различного технологического оборудования.
Fortrend продолжает развивать свои инновационные технологии автоматизации для широкого применения в полупроводниковой промышленности. Fortrend является лидером в разработке и производстве автоматизированного погрузочно-разгрузочного оборудования SMIF и роботов SCARA.![]()
Вакуумные и конвекционные печи
Термокамера FLO-10C-12W
Термокамера SunRay FLO-10C-12W представляет собой высокоэффективную печь класса чистоты
ISO Class 4 для вафель диаметром до 300 мм и температурой до 250°C, идеально подходящую для приложения, такие как;
- Удаление влаги
- Повторный поток
- Однослойная термическая обработка
Благодаря запатентованной технологии координированного управления нагревом в нескольких зонах однородность температуры лучше, чем 9 градусов.0199 ± 3,5°C в широком диапазоне рабочих температур с программируемым расходом газа от 0 до 50 литров в минуту.
Превосходный класс чистоты ISO 4 подходит для процессов запекания полупроводниковых пластин, МЭМС, светодиодных и сенсорных панелей.
Система для выпечки вафель SIO-300-200-2
Система для выпечки вафель имеет встроенную мини-среду, 300-мм загрузочные порты
, вафельный робот, кассетный робот, печь серии YES и блок управления
200-мм кассета с ручной/автоматической загрузкой
Полностью автоматический
Температурный диапазон: Окружающая среда~250 градусов C
Однородность: ± 3 градуса
Чистота системы: Класс 1
Чистота печи: Класс 10
SIO-300-450-1 и SIO-300-450-2 (двойная камера)
Компания Fortrend-YES совместно разработала высокотемпературную серию SIO-300-450 с воздушным охлаждением, регулируемым составом технологического газа, ламинарным поперечным потоком.
, Вертикальные, вакуумные печи
Технологические возможности;
- Полиимидное отверждение
- Лекарство BCB
- Отверждение фоторезиста
- Отжиг меди
- Удаление оксида меди
Вместимость до 300 мм пластин 50 в каждой камере
Доступна автоматическая загрузка пластин 200 мм Непрерывный горизонтальный поток пластин N2
Низкий уровень O2 < 10 частей на миллион
Диапазон рабочих температур 150~450 °C
Однородность температуры лучше ± 3,5 °C
Максимальный линейный нагрев 8 °C/мин и охлаждение 6°C/мин (зависит от температуры камеры)
Предварительный нагрев N2
Компания Vulcan, основанная в 1927 году, является одним из немногих производителей, предлагающих полный набор нагревателей с металлической оболочкой, датчиков температуры, продуктов для контроля температуры и услуг точной калибровки. Многие из их продуктов для измерения температуры встраиваются в оборудование ведущих мировых полупроводниковых компаний.
Другие области знаний в области датчиков температуры включают процессы обработки сверхвысокотемпературных материалов и другие передовые металлургические применения. Их решения для гибких межсоединений включают в себя широкий спектр возможностей в области гибких схем, гибких жгутов проводов и услуг по электрическим испытаниям.
Термопары, термометры сопротивления и датчики
Semiconductor Fab
Vulcan ElectricThermoparas представляют собой конструкции высокоточных датчиков температуры, разработанные и изготовленные в основном для полупроводниковой, солнечной и светодиодной промышленности. Эти термопары были разработаны для измерения и контроля критической температуры процесса, необходимого для этих отраслей.
Вакуумные технологические датчики
Линия вакуумных технологических датчиков температуры с использованием новейших технологий уплотнительных фитингов, которые могут быть разработаны для герметизации в диапазоне давлений от вакуума до 30 000 фунтов на кв.
дюйм (2067 бар) и рассчитаны на долговечность и надежность
Датчики сверхвысоких температур
Термопары сверхвысокой температуры предназначены для работы в условиях экстремальных температур, времени и циклов. Наш полный ассортимент материалов для термопар с превосходными характеристиками и качеством позволяет создать самую передовую линейку датчиков температуры
для экстремальных технологических процессов.
Термометры сопротивления общего назначения
Термисторы идеально подходят для измерения температуры, где требуется высокая чувствительность.
Эти сенсорные датчики по своей природе более точны, чем термопара, в узком диапазоне температур и часто используются там, где не требуется способность работать при высоких температурах.
Доступны другие линии продукции;
Датчики тепла и поверхностные датчики
Термопары с гибкими трубками
Зонды термопар общего назначения.
Основанная в 1979 году в Силиконовой долине, США, компания Fortrend является производителем инновационного оригинального оборудования для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.
На протяжении более тридцати пяти лет продукты Fortrend являются важнейшими средствами автоматизации для различного технологического оборудования.
Fortrend продолжает развивать свои инновационные технологии автоматизации для широкого применения в полупроводниковой промышленности. Fortrend является лидером в разработке и производстве автоматизированного погрузочно-разгрузочного оборудования SMIF и роботов SCARA.
Маленькая зеленая печь (LGF)
LGF имеет 8-дюймовую плоскую зону и механизм загрузки лодочек, который находится в шкафу печи, что делает устройство очень компактным.
LGF вместе с контроллером ICCI и хостом GMI предлагает наилучший доступный программный пакет.
LGF обеспечивает отличную производительность — быстрое охлаждение при нагреве и хорошую однородность температуры благодаря 5-зонной конструкции сверху вниз.
Модель LGF специально разработана для того, чтобы пользователи могли быстро и легко заменять кварцевые компоненты, что полезно для лабораторий, которым необходимо обрабатывать несовместимые материалы.
А так как печь маленькая, кварцевая намного дешевле, чем обычные печи.
Технические характеристики
Размер печи: 41”x32”x24” (дверь закрыта), 65”x32”x24” (дверь открыта).
Лодочный погрузчик: консольного типа, с серводвигателем. Скорость регулируется от 2 до 30 дюймов в минуту.
Скорость нагрева: до 50°C в минуту.
Скорость охлаждения: 15°C в минуту (от 1000 oC до 500 oC).
Максимальная температура: 1200°C.
Размер вафли: Стандарт до 150 мм.
Вафельная загрузка: 25
Термопары: 5-зонный шип и профиль. Включены все термопары
Защита от перегрева: 3 зоны, с устанавливаемыми вручную пределами перегрева и цифровым дисплеем.
Температурная стабильность: +/- 2 o C в течение 24 часов.
Процессы: Конфигурируется для термического окисления, диффузии, отжига, LPCVD и т.

Это позволяет быстро переключать режимы работы, выбирать оптимальный температурный режим в зависимости от марки стали заготовки, особенностей формы и размера метиза. В некоторых случаях температура может достигать 400 градусов Цельсия.
д.